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    据相识，近日，华卓精科发布了海内首台8英寸碳化硅激光退火装备，已经经顺遂经由过程台湾某客户验证，已经开展交付，这也代表国产8英寸碳化硅要害装备工艺乐成实现自立化，深切迈进高端装备制造范畴国际前沿。

于碳化硅高压功率芯片制造工序中，用在反面金属工艺的激光退火工序是不成或者缺的要害一环，它直接影响到SiC芯片运用的靠得住性及不变性。于此以前，该范畴高端装备市场重要由外洋巨头垄断，以是加速该工艺的焦点技能自研，实现自立可控十分须要。

今朝，华卓精科已经经交付了8英寸碳化硅激光退火装备至海内头部Fab，该客户将用其完美8英寸碳化硅芯片工艺平台安插，以实现产能范围落地。与此同时，华卓精科将阐扬自立研发及技能领先上风，为客户提供高效率、多方位、智能化的8英寸碳化硅激光退火解决方案，实现高质量交付。

文章来历：激光行业不雅察

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